产品规格

产品规格

规格外径(D高度(H直壁厚度(T1R角厚度(T3底部厚度(T4R1R2
14355±2280±29±29±29±290381
16406±2305±29±210±29±290406
18455±2350±29±210±29±290460
20505±2380±210±211±210±290510
22556±2365±211±212±211±2110558
24610±2415±212±213±212±2120610
26655±2456±212±213±212±2120660
28710±2485±212±213±212±2120710
32810±3500±213±214±213±2120810
36945±3620±215±220±215±2160945

可根据客户的要求,定制符合要求的尺寸规格;

现有设备最大可生产48吋坩埚;



类型

内表面杂质含量(ppm)

Ca

Na

K

Fe

Al

Li

Ti

Cr

Mn

Ni

Cu

Mg

Ge

Zr

P

B

天然坩埚

0.7

0.5

0.3

0.3

15.0

0.4

1.2

0.05

0.05

0.1

0.05

0.02

0.9

0.1

0.1

0.2

天然高纯坩埚

0.6

0.15

0.1

0.2

8.0

0.1

1.1

0.05

0.05

0.1

0.05

0.02

0.8

0.05

0.1

0.1

合成坩埚

0.05

0.05

0.03

0.10

0.03

0.01

0.03

0.01

0.05

0.01

0.01